无
测试薄膜厚度、折光率、波导系数
①实现xyz三个方向上的折射率、双折射指数测试(TM模式);②折射率测量范围1.0~2.45,折射率精度±0.001,折射率分辨率±0.0005;③波导损耗精度﹤0.05dB/cm; ④厚度精度±(0.5%+5nm),厚度分辨率±0.3%;⑤操作波长:635 nm(标配)⑥测试面积≥8mm×8mm;