阻抗管套件(3D轮廓仪)
[ 基础信息 ]
生产国家 : 日本
制造厂商 : 基恩士
购置日期 : 2023-02-09
规格型号 : VR6200
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : 2022B445
[ 联系信息 ]
联系人 : 张奇
存放地址 : 高分子材料工程国家重点实验室215
联系电话 : 15928708647
联系邮箱 : zhangqi88@scu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
测试扫描高分子器件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析
主要规格及技术指标 :
工作头：分辨率：不低于0.1μm 精度：样品检测最低精度不低于1umCCD像素：不低于300万，且可以选择不同的镜头倍率，100X以上放大。载物台：XY行程：184 × 88 mm（电动）Z行程：73mm（电动）承受负重：4.5kg动作距离：75mm
